| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE;ACR AUTOMATION IN CLEANROOM DRESDEN GMBH, 01109 DRESDEN, DE;INSTITUT FUER MIKROTECHNIK MAINZ GMBH, 55129 MAINZ, DE;KARL STORZ GMBH & CO, 78532 TUTTLINGEN, DE |
发明人 |
GRIMME, RALF, DIPL.-ING. (FH), 74385 PLEIDELSHEIM, DE;SCHLENKER, DIRK, DIPL.-ING. (FH), 71701 SCHWIEBERDINGEN, DE;STOCK, ACHIM, DIPL.-ING. (FH), 73433 AALEN, DE;SCHAEFER, WOLFGANG, DIPL.-ING., 72622 NUERTINGEN, DE;KAEMPER, KLAUS-PETER, DR., 55278 MOMMENHEIM, DE;BERG, UDO, 64297 DARMSTADT, DE;SCHMUTZ, WOLFGANG, DR.-ING., 78658 ZIMMERN, DE;ERNST, GUENTER, DIPL.-ING., 01109 DRESDEN, DE;RENNER, KLAUS, 78576 EMMINGEN-LIPTINGEN, DE;ROTHMAIER, ULRICH, 78532 TUTTLINGEN, DE;RUDISCHHAUSER, JUERGEN, 78532 TUTTLINGEN, DE |
