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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von polykristallinem Silizium
摘要
申请公布号 DE4327308(C2) 申请公布日期 1997.04.10
申请号 DE19934327308 申请日期 1993.08.13
申请人 KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY, DAEJEON, KR 发明人 KIM, HEE YOUNG, DAEJEON, KR;SONG, YONG MOK, DAEJEON, KR;JEON, YONG YEOL, DAEJEON, KR;KWON, DAE HEOK, DAEJEON, KR;LEE, KANG MO, DAEJEON, KR;LEE, JAE SONG, DAEJEON, KR;PARK, DONG SOON, DAEJEON, KR
分类号 B01J8/18;B01J8/42;B01J19/12;C01B33/03;(IPC1-7):C01B33/035 主分类号 B01J8/18
代理机构 代理人
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