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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Ätzgeschwindigkeit
摘要
申请公布号 DE69217779(D1) 申请公布日期 1997.04.10
申请号 DE19926017779 申请日期 1992.09.04
申请人 C. UYEMURA & CO., LTD., OSAKA, JP 发明人 HASHIMOTO, SHIGEO, C. UYEMURA & CO., LTD., OSAKA-SHI, OSAKA, JP;KAWASAKI, SHOGO, C. UYEMURA & CO., LTD., OSAKA-SHI, OSAKA, JP
分类号 C23F1/00;C23F1/08;G01N7/14;G01N7/18;(IPC1-7):G01N7/18;C11D7/30;C11D7/50 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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