| 发明名称 |
WAFER DEFECT MANAGEMENT SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
WO9713158(A1) |
申请公布日期 |
1997.04.10 |
| 申请号 |
WO1996US13929 |
申请日期 |
1996.08.30 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
LA, THO, LE;SHIAU, YING |
| 分类号 |
G01R31/319;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/316;G06F11/22;G06F11/273 |
主分类号 |
G01R31/319 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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