发明名称 Reaktive Matrix zum Entfernen von Verunreinigungen aus Hydriden und inerten Gasen und Verfahren
摘要
申请公布号 DE69308435(D1) 申请公布日期 1997.04.10
申请号 DE19936008435 申请日期 1993.09.07
申请人 MILLIPORE CORP., BEDFORD, MASS., US 发明人 SNOW, JAMES T., NASHUA, NH 03063, US
分类号 B01D53/02;B01D53/14;B01D53/28;B01J20/26;C08F8/42;C08F26/06;(IPC1-7):B01J20/26 主分类号 B01D53/02
代理机构 代理人
主权项
地址