发明名称 Fabrication of semiconductor devices using phosphosilicate glasses
摘要
申请公布号 EP0396307(B1) 申请公布日期 1997.04.09
申请号 EP19900304433 申请日期 1990.04.25
申请人 AT&T CORP. 发明人 FLEMING, DEBRA ANNE;JOHNSON, DAVID WILFRED, JR.;SINGH, SHOBHA;VANUITERT, LEGRAND G.;ZYDZIK, GEORGE J.
分类号 C03C3/062;C03C3/097;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C03C3/062
代理机构 代理人
主权项
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