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发明名称 Method for forming a planarized Al thin film
摘要
申请公布号 EP0544648(B1) 申请公布日期 1997.04.09
申请号 EP19930102886 申请日期 1986.05.12
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION 发明人 KAMOSHIDA, KAZUYOSHI;NAKAMURA, HIROAKI;AMAZAWA, TAKAO
分类号 H01L21/363;H01L21/263;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/363
代理机构 代理人
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