发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0997898(A) 申请公布日期 1997.04.08
申请号 JP19950251450 申请日期 1995.09.28
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 AOYAMA MASASHIGE;SUZUKI TAKUYA
分类号 H01L21/316;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/306;H01L21/823 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
地址