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发明名称
METHOD FOR MAKING CONTACT HOLE
摘要
申请公布号
JPH0997835(A)
申请公布日期
1997.04.08
申请号
JP19950252637
申请日期
1995.09.29
申请人
SONY CORP
发明人
SUMI HIROBUMI
分类号
H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306;H01L21/321
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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