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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0997784(A) 申请公布日期 1997.04.08
申请号 JP19950252154 申请日期 1995.09.29
申请人 CITIZEN WATCH CO LTD 发明人 NISHIWAKI KATSUHIKO
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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