发明名称
摘要
申请公布号 JPH09503626(A) 申请公布日期 1997.04.08
申请号 JP19950522678 申请日期 1995.02.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/04;H01L29/10;H01L29/12;H01L29/24;H01L29/739;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
主权项
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