发明名称 PHOTORESISTOR COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0994516(A) 申请公布日期 1997.04.08
申请号 JP19950279654 申请日期 1995.10.03
申请人 NIPPON COLUMBIA CO LTD 发明人 SUGIMURA SHINOBU;YOSHIDA KAN
分类号 B05C11/08;G11B7/26;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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