发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0995777(A) 申请公布日期 1997.04.08
申请号 JP19950276930 申请日期 1995.09.29
申请人 SONY CORP 发明人 ITO JOTA;CHIBA KAZUNOBU;TAKEDA TSUTOMU;SUZUKI TOSHIAKI
分类号 C23C14/30;G11B5/85;H01F41/20;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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