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发明名称 PREPARATION OF SAMPLE
摘要
申请公布号 JPH0996595(A) 申请公布日期 1997.04.08
申请号 JP19950252897 申请日期 1995.09.29
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 UEKI TAKEMI;TAKEDA TADAO
分类号 G01N1/32;C23F4/00;C23F4/02;H01L21/302;(IPC1-7):G01N1/32 主分类号 G01N1/32
代理机构 代理人
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