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发明名称
THERMOCOUPLE FIXING JIG FOR MEASURING TEMPERATURE OF DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号
JPH0996568(A)
申请公布日期
1997.04.08
申请号
JP19950276225
申请日期
1995.09.30
申请人
SONY CORP
发明人
KAWAGUCHI KIYOSHI
分类号
G01K1/14;F27D21/00;G01K7/02;H01L21/22;(IPC1-7):G01K1/14
主分类号
G01K1/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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