发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0995770(A) 申请公布日期 1997.04.08
申请号 JP19950257544 申请日期 1995.10.04
申请人 RICOH CO LTD 发明人 MIYABORI TORU
分类号 C23C14/14;C23C14/24;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/14 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
地址