发明名称 |
HORIZONTAL THERMAL TREATMENT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0997766(A) |
申请公布日期 |
1997.04.08 |
申请号 |
JP19950251633 |
申请日期 |
1995.09.28 |
申请人 |
KYOCERA CORP |
发明人 |
FUKAWA YUKO;FUKUI KENJI;TAKAYAMA MICHIHIRO;SHIRASAWA KATSUHIKO |
分类号 |
H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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