| 发明名称 |
CRYSTAL GROWTH RADICAL GENERATING DEVICE, CRYSTAL GROWTH DEVICE, AND CRYSTAL GROWTH METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0997763(A) |
申请公布日期 |
1997.04.08 |
| 申请号 |
JP19950251670 |
申请日期 |
1995.09.29 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKAGI SATOSHI;YAMAGAMI ATSUSHI |
| 分类号 |
C30B29/16;C30B29/48;C30B31/16;C30B31/18;C30B31/20;H01L21/203;H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C30B29/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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