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发明名称 METHOD FOR FORMING ALUMINUM-BASED PATTERN
摘要
申请公布号 JPH0992655(A) 申请公布日期 1997.04.04
申请号 JP19950248997 申请日期 1995.09.27
申请人 SONY CORP 发明人 OTSUKA YOICHI
分类号 H01L21/3213;H01L21/306;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/320 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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