| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR COLLECTING IMPURITY IN GAS AND DEVICE FOR MEASURING IMPURITY IN GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0989734(A) |
申请公布日期 |
1997.04.04 |
| 申请号 |
JP19950242645 |
申请日期 |
1995.09.21 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TANAKA TOMOHIRO;NAKANO TOSHINORI |
| 分类号 |
G01N1/22;G01N33/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/22 |
主分类号 |
G01N1/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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