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发明名称
FORMATION OF COATING FILM
摘要
申请公布号
JPH0992648(A)
申请公布日期
1997.04.04
申请号
JP19950248996
申请日期
1995.09.27
申请人
SONY CORP
发明人
IKEDA RIKIO
分类号
G03F7/16;B05D7/00;H01L21/027;H01L21/316;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/320
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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