| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR GENERATING GAS AND VAPOR-PHASE GROWING DEVICE USING DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0989732(A) |
申请公布日期 |
1997.04.04 |
| 申请号 |
JP19950242243 |
申请日期 |
1995.09.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SAGARA MINORU;UENO CHIKARA |
| 分类号 |
G01N1/00;B01J7/02;C23C16/44;C23C16/448;G01N1/22;H01L21/205;(IPC1-7):G01N1/22 |
主分类号 |
G01N1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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