| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING SILICON OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0992639(A) |
申请公布日期 |
1997.04.04 |
| 申请号 |
JP19950273591 |
申请日期 |
1995.09.26 |
| 申请人 |
RICOH CO LTD |
发明人 |
HINO TAKESHI;MIURA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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