发明名称 LSI TESTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0989979(A) 申请公布日期 1997.04.04
申请号 JP19950239426 申请日期 1995.09.19
申请人 NEC ENG LTD 发明人 CHATANI SHINICHI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址