| 发明名称 |
OPTICAL MEASURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0989780(A) |
申请公布日期 |
1997.04.04 |
| 申请号 |
JP19950239510 |
申请日期 |
1995.09.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YASUDA KENJI;SASAKI YUJI;UMEMURA SHINICHIRO;ISHIWATARI SHINICHI;KINOSHITA KAZUHIKO |
| 分类号 |
G01N21/64;G01N15/14;G01N21/78;G01N33/84;(IPC1-7):G01N21/78 |
主分类号 |
G01N21/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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