发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0992198(A) 申请公布日期 1997.04.04
申请号 JP19950249816 申请日期 1995.09.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMAMOTO SUSUMU
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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