| 发明名称 |
METHOD FOR PURGING ROTARY SHAFT SEAL OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0992627(A) |
申请公布日期 |
1997.04.04 |
| 申请号 |
JP19950247846 |
申请日期 |
1995.09.26 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SHINKAWA SHUJI;YOSHINO AKIHITO |
| 分类号 |
F16J15/40;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
F16J15/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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