发明名称 BONDING TOOL
摘要
申请公布号 JPH0992686(A) 申请公布日期 1997.04.04
申请号 JP19950249700 申请日期 1995.09.27
申请人 SHINKO KOBELCO TOOL KK 发明人 NISHIKAWA MASATOSHI;SUGIZAKI YASUAKI;YONEDA YOICHIRO;SAI MASANORI;OZAKI KATSUHIKO;YAMADA YASUYUKI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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