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发明名称 HEATING FURNACE
摘要
申请公布号 JPH0989462(A) 申请公布日期 1997.04.04
申请号 JP19950252928 申请日期 1995.09.29
申请人 SHARP CORP 发明人 TAKAHASHI IKUO
分类号 F27B9/10;F27B9/30;H01L21/52;(IPC1-7):F27B9/30 主分类号 F27B9/10
代理机构 代理人
主权项
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