| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0992804(A) |
申请公布日期 |
1997.04.04 |
| 申请号 |
JP19950245636 |
申请日期 |
1995.09.25 |
| 申请人 |
NEC CORP;NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
OGURA ATSUSHI;NUMAZAWA YOICHIRO;DOI AKIRA;TANJIYOU MASAYASU |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/762;H01L21/84;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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