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发明名称 DEFECT ANALYZING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0989998(A) 申请公布日期 1997.04.04
申请号 JP19950269393 申请日期 1995.09.22
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 TAKAHASHI KOJI
分类号 G01R31/28;G06F12/16;G11C29/00;G11C29/44;G11C29/56;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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