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摘要
申请公布号
JPH0991999(A)
申请公布日期
1997.04.04
申请号
JP19950266181
申请日期
1995.09.21
申请人
HITACHI LTD
发明人
ARAKAWA WATARU
分类号
G01R31/28;G11C29/00;G11C29/44;H01L21/66;(IPC1-7):G11C29/00
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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