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发明名称 Verfahren zur Verdrahtung einer Halbleiterschaltung
摘要
申请公布号 DE69123175(T2) 申请公布日期 1997.04.03
申请号 DE1991623175T 申请日期 1991.05.29
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUMOTO, SHIGEYUKI, CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;IKEDA, OSAMU, CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 H01L23/485;H01L23/522;(IPC1-7):H01L23/485;H01L21/768 主分类号 H01L23/485
代理机构 代理人
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