| 发明名称 |
HIGH-ACCURACY SURFACE CONFIGURATION MEASURING METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0989550(A) |
申请公布日期 |
1997.04.04 |
| 申请号 |
JP19950267810 |
申请日期 |
1995.09.21 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD;MITSUI KIMIYUKI |
发明人 |
GOTO TAKAYUKI;MITSUI KIMIYUKI |
| 分类号 |
G01B7/00;G01B7/34;G01B21/30;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q10/06;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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