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发明名称 OPTICAL PROJECTION EXPOSURE METHOD AND SYSTEM USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR970004682(B1) 申请公布日期 1997.04.02
申请号 KR19920005715 申请日期 1992.04.06
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION 发明人 MATSUO, SEITARO;TAKEUCHI, YOSHINOBU;KOMATSU, KAZUHIKO;TAMECHIKA, EMI;MIMURA, YOSHIAKI;HARADA, KATSUHIRO;HORIUCHI, YOSHIYUKI
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/53 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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