激光尘埃粒子计数器光学探头

摘要

一种用于超净检测的激光尘埃粒子计数器光学探头，由单模He-Ne激光器、激光扩束镜组、具有光通道的集光抛物面反射镜、样气通过光敏区并垂直于激光束的样气通道、后向反射镜、聚光透镜、消杂光光栏、光电倍增管等组成。本发明具有尘埃粒径可测范围大，计数效率高，检测速度快，结构调整方便，受外界环境影响小等特点。

主权项

1.一种利用激光测量空间尘埃粒子数的激光尘埃粒子计数器光学探头，其特征在于由沿激光前进方向的单模He-Ne激光器、激光扩束镜组、具有光通道的集光抛物面反射镜、样气通道，后向反射镜、聚光透镜、消杂光光栏和光电倍增管构成，光敏区位于He-Ne激光器腔外的集光抛物面反射镜的焦点附近。