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发明名称
摘要
申请公布号
JP2595212(B2)
申请公布日期
1997.04.02
申请号
JP19860191858
申请日期
1986.08.15
申请人
发明人
分类号
H01L27/14;G11B9/10;H01J31/00;H01L27/10;(IPC1-7):G11B9/10
主分类号
H01L27/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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