发明名称 |
碳化硅纤维生产中的尾气回收方法及装置 |
摘要 |
本发明提供一种碳化硅纤维生产尾气的回收方法及装置,是将尾气通过-40~-80℃的冷凝装置冷凝,分离CH<SUB>3</SUB>SiCl<SUB>3</SUB>、CH<SUB>3</SUB>SiHCl<SUB>2</SUB>及高沸点物质,然后将不能被冷凝的HCl、H<SUB>2</SUB>等物质送入含10%碱液的吸收塔,除去HCl,H<SUB>2</SUB>送入净化器净化,被冷凝分离出的硅烷,经过精密蒸馏除去高沸点物质后再使用。由本发明回收的CH<SUB>3</SUB>SiCl<SUB>3</SUB>和CH<SUB>3</SUB>SiHCl<SUB>2</SUB>占尾气总量的95%,再利用率为65%。经本发明尾气回收后的环境检测达到国家标准。 |
申请公布号 |
CN1146503A |
申请公布日期 |
1997.04.02 |
申请号 |
CN95115643.8 |
申请日期 |
1995.09.29 |
申请人 |
中国科学院山西煤炭化学研究所 |
发明人 |
张蓬洲;任兆鑫;宋丽萍;温月芳 |
分类号 |
C30B25/00;C30B29/36;C30B29/62;B01D53/34;B01D5/00 |
主分类号 |
C30B25/00 |
代理机构 |
中国科学院山西专利事务所 |
代理人 |
卫凌秋;魏树巍 |
主权项 |
1.一种碳化硅纤维生产尾气的回收方法,其特征是包括如下步骤:(1).将尾气通过-40~-80℃的冷凝装置冷凝,分离CH3SiCl3、CH3SiHCl2及高沸点物质;(2).不能被冷凝的HCl、H2等物质进入含10%碱液的吸收塔,除去HCl;(3).H2送入净化器净化;(4).冷凝分离出的硅烷,经过精密蒸馏除去高沸点物质后重复使用。 |
地址 |
030001山西省太原市165信箱 |