Indexing of a container compartment with the contained disk-like substrate

摘要

Bei einem Indexer für Magazinfächer eines Magazins und darin enthaltene scheibenförmige Objekte besteht die Aufgabe, durch eine universell arbeitende Indexierung auch für Magazine, die nur an einer Seite der Entnahme und Beschickung mit einer Öffnung versehen sind, einen genauen Zugriff in jede beliebige und vorherbestimmbare Magazinebene zu gewährleisten, wobei eine Unterscheidung von verschiedenen standardisierten Magazin- und Scheibenformaten möglich sein soll. Gemäß der Erfindung werden die Magazinfächer und die scheibenförmigen Objekte mit einer optoelektronischen Sensoranordnung erfaßt, von der mindestens ein Teil als Abstandsmeßsystem ausgebildet ist. Die Erfindung ist bei der Herstellung integrierter Schaltkreise, insbesondere zur Handhabung scheibenförmiger Objekte in Form von Halbleiterscheiben und Schablonen anwendbar.