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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING PROCESS
摘要
申请公布号 EP0552366(B1) 申请公布日期 1997.04.02
申请号 EP19910915960 申请日期 1991.09.11
申请人 KOMATSU ELECTRONIC METALS CO., LTD 发明人 KAWAHARA, HIROYUKI;KONO, MITSUO
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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