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发明名称 Cadmium/rare gas discharge lamp of the short arc type, as well as projection exposure device using the same
摘要
申请公布号 EP0599229(B1) 申请公布日期 1997.04.02
申请号 EP19930118677 申请日期 1993.11.19
申请人 USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA;KABUSHIKI KAISHA NIKON 发明人 YASUDA, YUKIO;YAMAGUCHI, AKIYASU;IGARASHI, TATSUSHI;OONISHI, YASUO;KAI, KENZO;SUGIHARA, MASANORI;MORI, TAKASHI;MIYAJI, AKIRA
分类号 G03F7/20;H01J61/16;H01J61/18;H01J61/86;(IPC1-7):H01J61/18 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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