光栅位移测量装置

摘要

光栅位移测量装置，适用于线位移和角位移的测量。具有光源、标尺光栅、指示光栅和光电接收装置。本发明的指示光栅的每条刻线是由多个精细的光学图形单元连接而成，每个光学图形单元含有透光部分，光强透过率为常数c，和不透光部分，光透过率为0或接近于0。本发明可输出纯净的正弦波信号，信号的纯洁性不受光栅莫尔条纹形式和空间频率变化的影响。

主权项

1.光栅位移测量装置具有光源、标尺光栅、指示光栅和光电接收装置，其光源位于标尺光栅一侧，照明光线依次经过标尺光栅和指示光栅，为光电接收装置所接受，其特征是所说的指示光栅其每条刻线是由多个精细的光学图形单元连接而成，每个光学图形单元含有透光部分，光强透过率为常数c，和不透光部分，光透过率接近为0。