发明名称
摘要
申请公布号 JP2596123(B2) 申请公布日期 1997.04.02
申请号 JP19890108005 申请日期 1989.04.26
申请人 发明人
分类号 G01R33/02;H01L43/08;(IPC1-7):G01R33/02 主分类号 G01R33/02
代理机构 代理人
主权项
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