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发明名称
摘要
申请公布号
JP2596123(B2)
申请公布日期
1997.04.02
申请号
JP19890108005
申请日期
1989.04.26
申请人
发明人
分类号
G01R33/02;H01L43/08;(IPC1-7):G01R33/02
主分类号
G01R33/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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