发明名称 SORGENTE DI PLASMA A RADIOFREQUENZA
摘要
申请公布号 IT1269413(B) 申请公布日期 1997.04.01
申请号 IT1994FI00194 申请日期 1994.10.21
申请人 PROEL TECNOLOGIE S.P.A. 发明人 CAPACCI MARCO;NOCI GIOVANNI
分类号 H01J27/18;H05H1/18;H05H1/46;(IPC1-7):H05H 主分类号 H01J27/18
代理机构 代理人
主权项
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