发明名称 |
SORGENTE DI PLASMA A RADIOFREQUENZA |
摘要 |
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申请公布号 |
IT1269413(B) |
申请公布日期 |
1997.04.01 |
申请号 |
IT1994FI00194 |
申请日期 |
1994.10.21 |
申请人 |
PROEL TECNOLOGIE S.P.A. |
发明人 |
CAPACCI MARCO;NOCI GIOVANNI |
分类号 |
H01J27/18;H05H1/18;H05H1/46;(IPC1-7):H05H |
主分类号 |
H01J27/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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