| 发明名称 |
THIN FILM FORMING DEVICE AND FORMATION OF THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0987852(A) |
申请公布日期 |
1997.03.31 |
| 申请号 |
JP19950244467 |
申请日期 |
1995.09.22 |
| 申请人 |
KAO CORP |
发明人 |
SHIGA AKIRA;MIZUNOYA HIROHIDE;IMAMURA HIDEKI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/27;C23C16/511;G11B5/84;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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