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发明名称 HIGH FREQUENCY SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0987837(A) 申请公布日期 1997.03.31
申请号 JP19950268001 申请日期 1995.09.22
申请人 READ RITE S M I KK 发明人 MINAMI HIROAKI;FUJIWARA KATSUYUKI
分类号 C23C14/34;C23C14/40;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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