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发明名称 CARBIDE COATING METHOD BY PLASMA CVD
摘要
申请公布号 JPH0987857(A) 申请公布日期 1997.03.31
申请号 JP19950274681 申请日期 1995.09.27
申请人 RES DEV CORP OF JAPAN 发明人 SUGIYAMA KAZUO
分类号 C30B29/36;B01J35/02;C23C16/32;C23C16/442;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
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