| 发明名称 |
PREPARATION PROCESS FOR THE AMORPHOUS FILMS WHICH ARE MADE OF CARBON, OF DIAMOND TYPE, IN HIGH FREQUENCY PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RO111947(B1) |
申请公布日期 |
1997.03.31 |
| 申请号 |
RO19910147948 |
申请日期 |
1991.07.04 |
| 申请人 |
INSTITUTUL DE CHIMIE MACROMOLECULARA "PETRU PONI", IASI |
发明人 |
SIMIONESCU I CRISTOFOR;FERENCZ DENES;MANOLACHE SORIN;BADEA CRISTINEL;BESLIU TEODOR |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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