发明名称 SURFACE GRINDING METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0985619(A) 申请公布日期 1997.03.31
申请号 JP19950208836 申请日期 1995.08.16
申请人 TOKYO SEIMITSU CO LTD 发明人 HONDA KATSUO
分类号 B24B49/02;B24B7/04;B24B49/04;H01L21/304;(IPC1-7):B24B49/02 主分类号 B24B49/02
代理机构 代理人
主权项
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