| 发明名称 |
SILICA GLASS MEMBER WITH GLASSY CARBON COATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0986964(A) |
申请公布日期 |
1997.03.31 |
| 申请号 |
JP19950262012 |
申请日期 |
1995.09.18 |
| 申请人 |
SHINETSU QUARTZ PROD CO LTD;HERAUSU KUWARUTSUGURASU GMBH |
发明人 |
KENMOCHI KATSUHIKO;DEIITOMA HERUMAN |
| 分类号 |
C03C15/00;C03C17/22;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C03C17/22;H01L21/306 |
主分类号 |
C03C15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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